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加壓吸附真空解吸(簡稱VPSA)制氧設備，即穿透大氣壓 的條件下，利用VPSA專用分子篩選擇性吸附空氣中的氮氣、二氧化碳和水等雜質，在抽真空的條件下對分子篩進行解吸，從而循環制得純度較高的氧氣(90~94%)。VPSA能耗較低,設備越大其能耗越低。

1、 能耗比較低。產氧量越大，能耗也降低。

2、 維護成本低，動設備為羅茨鼓風機和羅茨真空泵，因其工作原理都為容積式，無油，極易維護。

3、 整套設備的自動化程度高，動設備與制氧機是同步控制，只需按一下啟動按鈕，整套設備即可正常運行。

4、適合于中大型產量。